行星齒輪傳動系統(tǒng)的重量，一般情況下正比于齒輪的重量，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大關(guān)系。比如在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調(diào)質(zhì)齒輪重量的1/3上下。因此對于行星齒輪減速機(jī)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和齒輪的荷載特性，應(yīng)當(dāng)普遍選用硬齒面齒輪。得到硬齒面齒輪的熱處理工藝許多，如表面淬火，總體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應(yīng)根據(jù)行星齒輪減速機(jī)的特性考慮選定。

1、表面淬火

常見的表面淬火方法有感應(yīng)淬火（對小尺寸齒輪）和火苗淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包含齒根底端時(shí)，其效果更好。表面淬火常用材料為碳的質(zhì)量濃度約0.35%~0.5%的鋼材，齒面硬度可達(dá)45~55HRC。

2、滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具備相對大的承載力，但須選用精加工工序（磨齒）來清除熱處理形變，以保證精度。

滲碳淬火齒輪常見滲氮前碳的質(zhì)量濃度為0.2%~0.3%的碳素鋼，其齒面硬度常在58~62HRC的范圍內(nèi)。若小于57HRC時(shí)，齒面強(qiáng)度明顯降低，高過62HRC時(shí)則脆性提升。輪齒芯部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火齒輪的硬度，從輪齒表面至深層應(yīng)逐漸減少，而有效滲氮深層要求為表面至深層應(yīng)逐漸減少，而有效滲氮深層要求為表面至硬度52.5HRC處的深層。

滲碳淬火在輪齒彎折疲勞極限層面的作用除使芯部硬度有所提高外，還在于有表面的殘留壓應(yīng)力，它可讓輪齒大拉應(yīng)力區(qū)域應(yīng)力減小。因而磨齒時(shí)不能磨齒根部分，滾齒時(shí)要用留磨量滾刀。

3、滲氮

選用滲氮可確保輪齒在形變朂小的條件下達(dá)到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后能不再進(jìn)行精加工，提升了承載力。這對于不易磨齒的內(nèi)齒輪而言，具有特殊意義。

4、相齒合齒輪的硬度組合

當(dāng)大、小齒輪均是軟齒面時(shí)，小齒輪的齒面硬度應(yīng)高過大齒輪。而當(dāng)二輪均是硬齒面且硬度較高時(shí)，則取二輪硬度相同。

選擇好的行星齒輪減速器材料，有益于提升齒輪減速機(jī)的承載力及使用期限。